켐트로닉스가 차세대 반도체 소재 사업 육성에 나선다.
켐트로닉스는 3일 개막하는 반도체대전(SEDEX)에 참가해 프로필렌글리콜메틸에테르아세트산(PGMEA) 등 친환경 반도체 소재를 공개한다고 20일 밝혔다.
PGMEA는 반도체 노광 공정에 활용되는 포토레지스트(PR) 원료의 70~80%를 차지하는 용제다. 지금까지 일본과 중국 등에서 수입해 왔는데, 켐트로닉스가 국산화에 성공했다.
특히 99.999%(5N) 초고순도 PGMEA를 개발해 초미세 회로 구현에 필수인 극자외선(EUV) 노광 공정용 PR을 만드는 데 쓰일 수 있게 했다. 인체 유해 물질인 베타이성질체 농도를 1~2ppm 수준으로 낮춰 친환경성도 강화했다.
켐트로닉스는 현재 글로벌 반도체 제조 업체에 5N PGMEA를 공급하기 위해 소재를 공정에 최적화하는 품질인증 절차(PCN)를 진행하고 있다.
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